德国AlphaPlasma等离子去胶机技术参数
1、控制系统
1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式。
2）程序控制：可编程，总共有20个程序，每个程序有3个清洁步骤。
2、反应腔体
1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱；
2）腔体容积：2.6L；
3）腔体尺寸：内径：110毫米，深度：280毫米。
3、射频电源
1）射频频率：13.56MHz；
2）射频功率：标配0~75W；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可选0~150W；。
4、等离子源
1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1）气路控制：标配一路MFC；可选配三路MFC；
2）质量流量计可以在0~100sccm之间精确控制气体流量；
3）一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
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http://www.mycro.net.cn/mycro-SonList-935897/
http://www.chem17.com/st119375/erlist_935897.html